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懸浮分子污染(AMC) 4.1AMC的分類及控制要求情況 AMC作為IC工廠所關心的問題于20年前較先由日本人提出,近年來,IC生產園片直徑已達φ300mm,工藝加工尺寸(線寬)已小于0.15μm,在某些加工工序及工序間園片的傳送和存放環境中AMC已成為嚴重影響成品率的問題,已被清楚的認識到,因此,AMC的控制已由談論轉到需要實施。 對于IC生產,AMC分為A、B、C、D四類,即: A——酸性物質
潔凈無塵車間為什么要控制溫濕度? ? ? 無塵車間的溫濕度主要是根據您的加工工藝要求來確定,在滿足加工工藝的條件下, 可以選擇應該考慮人的舒適感。隨著空氣潔凈度要求的提高,工藝對溫濕度的要求也越來越高, 必須達到一定的溫濕度等級。例如在大規模集成電路生產的光刻曝光工藝中, 作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來越小。 直徑100um的硅片,溫度上升1度,就引起了0。24
FFU系統的應用 3.1當前FFU的情況 FFU在使用壽命及維護上已經實踐證明無可擔心。當前其改進主要是: (1)采取均流及減少噪音的措施,噪音可在50db以內; (2)電動機采用DC/EC(電子整流電機),以耗較原交流電機節約近50%,因為小風機所用小容量(功率<1/2HP)的交流電機,一般皆為電容分相式或隱較式,其效率僅40%左右,而DC/EC電機的效率可達75~80%;在調速控制上可每
辦公室玻璃隔斷裝修施工工藝 玻璃隔斷,又稱玻璃隔墻。主要作用就是使用玻璃作為隔墻將空間根據需求劃分,較加合理的利用好空間,滿足各種居家和辦公用途。玻璃隔斷墻通常采用鋼化玻璃,具有抗風壓性,寒暑性,沖擊性等優點,所以較加安全,固牢和耐用,而且玻璃打碎后對人體的傷害比普通玻璃小很多。材質方面有三種類型:單層,雙層和藝術玻璃。當然一切根據客戶需求來做。優質的隔斷工程應該是采光好、隔音*佳、環保、易安裝
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