手套箱集成蒸發鍍膜設備

時間：2025-04-24作者：武漢維科賽斯科技有限公司瀏覽：58

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  小型磁控濺射鍍膜儀的工作原理主要包括以下幾個步驟：?1.真空排氣：將反應室和沉積室內部空氣抽出，形成高真空環境。這是保證薄膜質量和防止污染的關鍵步驟。?2.目標材料加熱：將固態目標材料加熱，使其表面逐漸融化，釋放出原子或分子。?3.磁控等離子體生成：在反應室內加入惰性氣體（如氬氣），并在磁場的作用下，將氣體電離，生成磁控等離子體。等離子體離子會轟擊目標材料，使其表面的