氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340D 高真空排氣臺密封性泄露檢測

時間：2023-04-12作者：伯東企業(yè)（上海）有限公司瀏覽：78

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• HVA 矩形閥 Load-lock 典型應(yīng)用

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• 上海伯東KRI 離子源在鍺基紅外鍍膜中的應(yīng)用

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• 氦質(zhì)譜檢漏儀熱交換器檢漏

  氦質(zhì)譜檢漏儀熱交換器檢漏上海伯東德國 Pfeiffer 某客戶需要對體積 >1000L 的熱交換器進(jìn)行檢漏, 熱交換器內(nèi)部管子細(xì)長, 流導(dǎo)小, 需要盡可能的快速測試并要求清潔無油, 真空模式下, 熱交換器漏率要求 1x10-6 mbar l/s. 為了快速抽空, 選用輔助泵 + 氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390, 實(shí)現(xiàn)快速檢漏！熱交換器檢漏方法：配置: ASM 380 (新款 ASM 390)

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  某半導(dǎo)體工廠在生產(chǎn)線上氣體輸送環(huán)節(jié)的氣體管路系統(tǒng)采用伯東?HVA?不銹鋼真空閘閥?11000?，作為真空隔離密封.??HVA?不銹鋼真空閘閥?11000?系列標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)規(guī)格:??閥門材質(zhì):?-?閥門主體?304?不銹鋼?-?焊接波紋