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1. 自我診斷技術自我診斷技術是在不停機或基本不拆機的情況下,通過各種檢測分析來判斷設備狀態(tài)是否正常,異常或故障的原因、部位、程度以及壽命的預測。自我診斷技術的主要作用是獲得設備的結果狀態(tài)信息,即根據(jù)設備在各種工況下,表現(xiàn)出來的精度**差,零點漂移,內(nèi)漏等所有狀態(tài)信息的綜合分析來識別產(chǎn)品的狀態(tài)、異常類型和異常的嚴重程度,其本質是一個包含信號、信息提取、信息綜合、故障識別和信息利用的過程。自我診斷的目
集成電路自動化裝備-探針臺是晶圓測試領域研究的熱點。由于晶圓片上晶粒很小,達到微米級,所以要求探針臺要保持很高的定位精度和運動精度才能保證探針與晶粒的準確對針和測試。因此,本文主要研究的問題是如何保證探針臺高精密控制,從而達到微米級定位要求。? ? ? ?本文來自于國家02專項-面向12”晶圓片的全自動探針臺關鍵技術研究。首先,本文介紹了探針臺兩大部分-LO
1000度高溫真空探針臺,主要應用于半導體、材料科學、納米技術、光電子、薄膜技術等領域,具有以下用途:1. 半導體器件測試與表征:用于不同溫度下的半導體料件、電子器件和光電子器件的性能測試和分析。2. 材料性能表征:研究和測試材料在不同溫度下的電學、磁學、光學等性能,以及材料的穩(wěn)定性和可靠性。3. 納米結構與納米器件研究:在納米尺度上測量納米結構與納米器件的電學性能,及其在高溫真空環(huán)境中的穩(wěn)定性和
1、樣品臺旋轉,多樣品同時鍍膜時,鍍膜厚度比較均勻。2、預濺射擋板功能,剛開始鍍膜的時候腔室里會有些雜質,擋板可以保護樣品,提高薄膜質量3、帶有水冷系統(tǒng),可以長時間濺射鍍膜,厚度可達1微米以上。4、直流磁控濺射,提高附著力,濺射速率快,比離子濺射快上一個量級。針對某些金屬較快能達到1-2納米每秒,5、不但可以電鏡制樣,還可以制作金屬電極。6、可擴展膜厚監(jiān)測,監(jiān)測薄膜厚度。濺射儀使用需注1 靶材需要
公司名: 鄭州科探儀器設備有限公司
聯(lián)系人: 裴先生
電 話:
手 機: 15136134901
微 信: 15136134901
地 址: 河南鄭州中原區(qū)鄭州**產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)西三環(huán)路289號6幢11單元3層73號
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網(wǎng) 址: zzketan.b2b168.com
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