靶材用在什么設(shè)備

時(shí)間：2022-01-19作者：醴陵市利吉升新材料有限公司瀏覽：449

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• 詞條

  詞條說(shuō)明

• 靶材在真空鍍膜中的應(yīng)用

  新型的濺鍍?cè)O(shè)備幾乎都使用強(qiáng)力磁鐵將電子成螺旋狀運(yùn)動(dòng)以加速靶材周?chē)臍鍤怆x子化，造成靶與氬氣離子間的撞擊機(jī)率增加，提高濺鍍速率。一般金屬鍍膜大都采用直流濺鍍，而不導(dǎo)電的陶磁材料則使用RF交流濺鍍，基本的原理是在真空中利用輝光放電（glow discharge）將氬氣（Ar）離子撞擊靶材（target）表面，電漿中的陽(yáng)離子會(huì)加速?zèng)_向作為被濺鍍材的負(fù)電極表面，這個(gè)沖擊將使靶材的物質(zhì)飛出而沉積在基板上形成

• 什么是靶材？

  簡(jiǎn)易說(shuō)的話，靶材便是快速荷能粒子負(fù)電子的總體目標(biāo)原材料。有金屬材料類(lèi)、鋁合金類(lèi)、金屬氧化物類(lèi)這些。例如:蒸發(fā)射頻濺射鍍膜是加溫蒸發(fā)鍍膜...鋁模等。拆換不一樣的靶材(如鋁、銅、不銹鋼板、鈦、鎳靶等)，就可以獲得不一樣的膜系(如超硬、耐磨損、防腐蝕的鋁合金膜等)。?

• 研發(fā)技術(shù)

  公司團(tuán)隊(duì)服務(wù)鍍膜領(lǐng)域十二年，對(duì)各材料的靶材研發(fā)、設(shè)計(jì)、制造、擁有成熟的經(jīng)驗(yàn)；公司與國(guó)內(nèi)外各行業(yè)科研院所長(zhǎng)期合作，為眾多國(guó)內(nèi)外工程項(xiàng)目提供了優(yōu)質(zhì)的靶材產(chǎn)品；公司注重用戶實(shí)踐與產(chǎn)品研發(fā)，取得多項(xiàng)專(zhuān)利和研發(fā)成果。

• 釕靶材的產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

  產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)：1、耐化學(xué)腐蝕氧化鋯、氧化鋁陶瓷有很強(qiáng)的耐化學(xué)腐蝕的特性!2、耐摔性首家具備這個(gè)技術(shù), 陶瓷棒從高空跌落完好無(wú)損,耐摔!3、超耐磨氧化鋯、氧化鋁陶瓷結(jié)構(gòu)產(chǎn)品具有很強(qiáng)的耐磨性!4、耐高溫氧化鋯、氧化鋁陶瓷可耐高溫1600度以上!5、防靜電氧化鋯、氧化鋁陶瓷為防靜電材料, 適用無(wú)塵區(qū)域!6、防火性氧化鋯、氧化鋁陶瓷對(duì)燃燒的火焰有極強(qiáng)防護(hù)能力!