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雙工位臥式真空爐 ? 青島福潤德微電子設(shè)備有限公司 ? 目??錄 ? 一、??????????設(shè) 備 特 點(diǎn) 二、??????????設(shè) 備 結(jié) 構(gòu)
LPCVD設(shè)備維修及應(yīng)用 低壓化學(xué)氣相淀積設(shè)備使用與維護(hù)技術(shù) LPCVD是大規(guī)模集成電路(LSI)和**大規(guī)模集成電路(VLSI)以及半導(dǎo)體光電器件工藝領(lǐng)域里的主要工藝之一。 PCVD技術(shù)可以提高淀積薄膜的質(zhì)量,使膜層具有均勻性好、缺陷密度低、臺(tái)階覆蓋性好等優(yōu)點(diǎn),成為制備Si 3N4薄膜的主要方法。熱壁LPCVD設(shè)備使用過程中出現(xiàn)薄膜的淀積速率、薄膜的均勻性、片內(nèi)均勻性、片間均勻性不理想等問題,提
太陽能電池?cái)U(kuò)散工藝及其設(shè)備 太陽能電池?cái)U(kuò)散工藝及其設(shè)備 ????技術(shù)方案是:一種太陽能電池?cái)U(kuò)散工藝,在太陽能電池?cái)U(kuò)散工藝中通控制抽氣排風(fēng)壓力,使抽氣排風(fēng)壓力這個(gè)參數(shù)保持穩(wěn)定,抽氣排風(fēng)壓力這個(gè)參數(shù)保持穩(wěn)定,抽氣排風(fēng)壓力的穩(wěn)定導(dǎo)致辭磷在硅片中的注入濃度穩(wěn)定,使加工后得到的硅片的方塊電池保持穩(wěn)定,在后道的燒結(jié)中可以匹配出高效的太陽能電池。抽氣排風(fēng)壓力通過在機(jī)臺(tái)排
空爐(vacuum furnace)是真空環(huán)境中進(jìn)行加熱的設(shè)備。在金屬罩殼或石英玻璃罩密封的爐膛中用管道與高真空泵系統(tǒng)聯(lián)接。爐膛真空度可達(dá)133×(10-2~10-4)h。爐內(nèi)加熱系統(tǒng)可直接用電阻爐絲(如鎢絲)通電加熱,也可用高頻感應(yīng)加熱。較高溫度可達(dá)3000℃左右。主要用于陶瓷燒成、真空冶煉、電真空零件除氣、退火、金屬件的釬焊,以及陶瓷-金屬封接等。 目 錄 1概述 2構(gòu)造 3原理 4功能 5
公司名: 青島福潤德微電子設(shè)備有限公司
聯(lián)系人: 顏
電 話: 0532-68017157
手 機(jī): 13658669338
微 信: 13658669338
地 址: 山東青島城陽區(qū)青島市城陽區(qū)北萬工業(yè)園
郵 編: 266000
網(wǎng) 址: qdfrdwdz.cn.b2b168.com
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