等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相淀積系統(tǒng)(PECVD)

時間：2014-10-22作者：青島福潤德微電子設(shè)備有限公司瀏覽：96

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• 詞條

  詞條說明

• led專用爐

  ■ LED**爐特點?? ◆ 關(guān)鍵件全部采用進(jìn)口件，具有高可靠性 ◆ 具有可編程的升、降溫功能???????? ◆ 具有斷電報警、**溫報警、極限**溫報警等多種安全保護(hù)功能。 ◆ 具有高抗干擾能力 ◆ 具有多種工藝管路，可供用戶隨意靈活配置?? ?★?賽瑞達(dá)可

• 太陽能擴(kuò)散爐

  太陽能電池擴(kuò)散工藝及其設(shè)備 太陽能電池擴(kuò)散工藝及其設(shè)備 ????技術(shù)方案是：一種太陽能電池擴(kuò)散工藝，在太陽能電池擴(kuò)散工藝中通控制抽氣排風(fēng)壓力，使抽氣排風(fēng)壓力這個參數(shù)保持穩(wěn)定，抽氣排風(fēng)壓力這個參數(shù)保持穩(wěn)定，抽氣排風(fēng)壓力的穩(wěn)定導(dǎo)致辭磷在硅片中的注入濃度穩(wěn)定，使加工后得到的硅片的方塊電池保持穩(wěn)定，在后道的燒結(jié)中可以匹配出高效的太陽能電池。抽氣排風(fēng)壓力通過在機(jī)臺排

• 鏈帶式焊接爐

  鏈帶式焊接爐技術(shù)方案 鏈帶式焊接爐主要應(yīng)用于半導(dǎo)體器件，金屬陶瓷，可控硅器件，玻璃封裝器件以及各種厚膜電路等焊接和燒結(jié)的連續(xù)工作的隧道式結(jié)構(gòu)熱處理爐。 一、主要技術(shù)指標(biāo) 1、設(shè)計溫度：≤700℃ 2、工作溫度：300℃~600℃ 3、爐內(nèi)控溫：±5℃ 4、儀表控制精度：±1℃ 5、設(shè)備總長度：約10600mm；進(jìn)出口臺面各為：800mm。 6、加熱區(qū)長度：≤3000mm（6段加熱） 7、冷卻區(qū)長

• 立式真空爐

  空爐（vacuum furnace）是真空環(huán)境中進(jìn)行加熱的設(shè)備。在金屬罩殼或石英玻璃罩密封的爐膛中用管道與高真空泵系統(tǒng)聯(lián)接。爐膛真空度可達(dá)133×(10-2～10-4)h。爐內(nèi)加熱系統(tǒng)可直接用電阻爐絲(如鎢絲)通電加熱，也可用高頻感應(yīng)加熱。較高溫度可達(dá)3000℃左右。主要用于陶瓷燒成、真空冶煉、電真空零件除氣、退火、金屬件的釬焊，以及陶瓷-金屬封接等。 目 錄 1概述 2構(gòu)造 3原理 4功能 5